Мария Воронова Китайская Shenyang Yuanda Compressor (SYCC), дочерняя компания Burckhardt Compression, поставит мембранные компрессорные установки для заводов по производству полупроводников на Тайване и в Южной Корее. Оборудование заказал один из ведущих мировых поставщиков промышленных газов, обслуживающий эти предприятия.
Компрессоры будут повышать давление водорода после его очистки, что позволяет стабильно подавать газ сверхвысокой чистоты, необходимый в технологических процессах. Установки SYCC спроектированы на основе поршневых и герметичных мембранных технологий материнской компании и отвечают строгим требованиям отрасли к чистоте, безопасности и надёжности.
Водород – один из ключевых газов в микроэлектронике. Его применяют на таких этапах, как эпитаксиальный рост, отжиг, осаждение и передовые литографические процессы. Использование чистого водорода помогает производителям чипов достигать необходимого уровня точности.
Спрос на сверхчистые технологические газы и компрессоры растёт на фоне глобального расширения производственных мощностей в полупроводниковой отрасли. Основными драйверами этого роста стали инвестиции в искусственный интеллект, центры обработки данных и цифровую инфраструктуру.
Для Burckhardt Compression эти заказы укрепляют позиции в водородном сегменте и открывают выход на новый рынок. Ранее компания не поставляла оборудование для производителей полупроводников.
